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非觸式微區(qū)形貌測(cè)試系統(tǒng)OSP370/470

簡(jiǎn)要描述：非觸式微區(qū)形貌測(cè)試系統(tǒng)OSP370/470
OSP370模塊可快速地對(duì)非觸表面進(jìn)行高精度測(cè)量。在不接觸樣品表面的情況下，它可以在10mm的高度范圍內(nèi)提供小于1微米高度分辨率的3D表面特寫影像。

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  • 更新時(shí)間：2023-12-28
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詳細(xì)介紹

非觸式微區(qū)形貌測(cè)試系統(tǒng)OSP370/470

使用非接觸式激光位移傳感器，OSP370模塊可快速地對(duì)非觸表面進(jìn)行高精度測(cè)量。在不接觸樣品表面的情況下，它可以在10mm的高度范圍內(nèi)提供小于1微米高度分辨率的3D表面特寫影像。

非觸式微區(qū)形貌測(cè)試系統(tǒng)OSP370/470

各種可選配件，包括各種可選探針，可選池體(Environmental TriCellTM, μTriCellTM,和Shallow μTriCellTM)，長(zhǎng)工作距離光學(xué)視頻顯微

鏡(VCAM2)和3D表面陰影渲染軟件(3DlsoPlotTM)。能配置到一個(gè)特定的應(yīng)用程序并升級(jí)，使M370*靈活，同時(shí)保持頂端的性能。

 

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